RBDLA系列双轴精密线轨运动台

RBDLA系列双轴精密线轨运动台

产品特点

<< 叠层式布局，紧凑型中空结构

<< 分别采用双直线电机和导轨

<< 纳米级微动步距

<< 优化后的高动态性能，高精度

<< 集成式线缆管理

背景介绍

RBDLA系列是叠层紧凑的中空外形结构，对于需要高动态性能和微米级直线度的双面LED晶圆加工及检测，以及需要高精度和精确性能的测量应用中至关重要，无论以上任何应用，RBDLA系列的设计都能满足要求。同时使用于CCD成像、LED封装检测等其它高端制造等行业。

高精度设计

直线度和平面度在应用中至关重要，RBDLA系列提供了优越的性能。采用高精度滚柱轴承和精密研磨的加工表面，获得较高的直线度和平面度。应用双直线电机驱动和导轨，满足很高的推力和速度，加速度达4g。

叠层紧凑的中空外形结构，留出最大的工作空间，并将总高度保持在最小，光栅反馈接近于工作表面，重复定位精度可达±0.5um，通过这种优化设计，从而获得卓越的性能和较低成本。

双驱动结构

非接触式设计提供了高速和准确的定位，比滚珠丝杆结构的位移台在性能有了较大的提升，电机免维护和长寿命使用。先进的控制驱动算法，保证了双电机的运行的一致性。

集成式线缆管理

精心优化管线弯曲半径，防止动作过程中影响到运动台的性能。使用高质量的无尘链拖线缆，尽量增长使用寿命，减少停机时间，同时设备外观更整洁，创造个良好的作业环境，是洁净室内使用的理想选择。