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光刻机的原理是什么？为何14纳米技术壁垒至今无法逾越？

2023-04-08 22:03 作者:Synth律者 0人读过 | 我要投稿

国内支撑90nm工艺的DUV光刻机是干式光刻机，不是浸润式DUV

图4为国内还正在测试浸润式DUV

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