特迪亚亨特利传感器614-100Kg

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差动式电容加速度传感器结构图. 它有两个固定极板(与壳体绝缘), 中间有一用弹簧片支撑的质量块, 此质量块的两个端面经过磨平抛光后作为可动极板(与壳体电连接).
当传感器壳体随被测对象在垂直方向上作直线加速运动时, 质量块在惯性空间中相对静止, 而两个固定电极将相对质量块在垂直方向上产生大小正比于被测加速度的位移.此位移使两电容的间隙发生变化, 一个增加, 一个减小, 从而使C1, C2产生大小相等#, 符号相反的增量, 此增量正比于被测加速度. 
电容式加速度传感器的主要特点是频率响应快和量程范围大, 大多采用空气或其它气体作阻尼物质.