国内半导体设备前五家龙头企业

中微公司

中微公司的主要产品为刻蚀机和MOCVD设备，有1300多台刻蚀机和MOCVD设备的反应台已在40多条亚洲、欧洲和国内先进生产线量产。此外，中微公司的5纳米刻蚀设备已获得行业领先客户的批量订单。在3D NAND芯片制造环节，其电容性等离子体刻蚀设备可应用于64层的量产。

北方华创

北方华创在年报中表示，公司12吋硅刻蚀机、金属PVD、立式氧化/退火炉、湿法清洗机等多款高端半导体设备相继进入量产阶段；8吋硅刻蚀机、金属刻蚀机、深槽刻蚀机、金属PVD、立式氧化/退火炉、湿法清洗机等设备频频获得客户重复采购订单；SiC刻蚀、GaN刻蚀、介质刻蚀、PECVD、PVD以及湿法清洗机等成为第三代半导体行业主流配置机台。

华林科纳

   华林科纳2020年技术案例突破有双八寸全自动清洗设备，12寸片盒全自动清洗设备，种植体全自动腐蚀设备，在线电子冷热器，Marangoni干燥设备等。预计在2021年内总销售额可达10 亿人民币的规模,工厂直接人员 150-200人以上， 已具备基本制造能力,并逐步建置 ，湿制程高阶设备制造，成立研究院，作为高阶制程研究发展平台与人才导入，教育训练平台，预计在2021年内总销售额可 达30亿人民币的规模。

晶盛机电

晶盛机电表示，全年新签订光伏设备订单超过37亿元，向中环股份、晶科等当前国内主流的光伏厂商供应晶体生长及加工设备；在半导体领域，单晶炉、抛光机、研磨机等设备陆续进入国内主流半导体材料厂商；成功研制出新一代12英寸半导体单晶炉、8英寸硅外延炉、8-12英寸硅片用精密双面研磨机、6-8英寸硅片用抛光机等。

芯源微

芯源微的前道涂胶显影设备于上海华力工艺验证并确认收入；前道Spin Scrubber清洗机设备已在中芯国际、上海华力等多个客户处通过工艺验证，截至目前已获得国内多家晶圆厂商的重复订单。集成电路制造后道先进封装设备目前已在国内多家封装大厂Fan-out产线应用等。

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