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透射电子显微镜(Transmission electron microscope,缩写TEM),简称透射电镜,是把经加速和聚集的电子束投射到非常薄的样品上,电子与样品中的原子碰撞而改变方向,从而产生立体角散射。散射角的大小与样品的密度、厚度相关,因此可以形成明暗不同的影像。通常,透射电子显微镜的分辨率为0.1~0.2nm,放大倍数为几万~百万倍,用于观察超微结构,即小于0.2微米、光学显微镜下无法看清的结构,又称亚显微结构。
成像原理与光学显微镜类似,与其不同在光学显微镜用可见光作照明束,透射电子显微镜用电子为照明束;光学显微镜中聚焦成像用玻璃透镜,TEM中为磁透镜。TEM电子波长极短,且与物质作用遵从布拉格方程,产生衍射现象;TEM具有高分辨率且有结构分析功能。

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