《炬丰科技-半导体工艺》电流耦合效应的定义

书籍：《炬丰科技-半导体工艺》

文章：电流耦合效应的定义

编号：JFKJ-21-119

作者：炬丰科技

摘要

  缝隙腐蚀的电偶性质是一个普遍接受的概念，但直到最近才真正研究耦合电化学行为及其在缝隙腐蚀中的作用。在许多关于缝隙腐蚀机理的争论中，能否合理解释缝隙腐蚀的形状，表明是否对缝隙中涉及的物理过程有深刻的理解。

  基于对缝隙腐蚀研究的最新技术的批判性回顾，然后提出了研究电偶效应在缝隙腐蚀中作用的必要性。开发了具有 IR 压降的均匀阳极/阴极对的概念。结果表明，电偶耦合效应可能在缝隙腐蚀中起重要作用。对于具有 IR 压降的均匀阳极/阴极对，耦合电位/电流关系是阳极和阴极动力学的函数。发现当阳极环境侵蚀性超过一定值时，整个过程由阳极控制转变为阴极控制，因此阳极溶解速率显着提高。使该过程复杂化的是不可避免地存在的 IR 压降，该压降在发生阳极到阴极控制转变时会增加。这种增加的 IR 降是阳极溶解增加的结果，另一方面又阻碍了阳极溶解的进一步增加。

  本文讲述了模型腐蚀缝隙的实验方面，裂缝内局部解决方案的侵略性，电极动力学作为溶液侵蚀性的函数， 缝隙内攻击深度剖面图等。