干式机械真空泵的必要性

真空泵发展到迄今为止，许多真空泵都是用油、水银、水、水蒸汽或其它聚合物等流体在泵的内部起着工作介质、冷却、密封、润滑等多种作用。

启用上述流体后，使抽气成为可能，或降低了极限压强，或提高了抽速，或延长了泵的寿命，或降低了成本，或提高了质量。总之既满足了结构要求，又提高了技术性能。

随着科技进步，对真空认识的提高，不仅要求被抽真空室的极限压强，有效抽速，而且也要求残余气体的成份。系统中残余气体的成份，不仅取决于系统内的因素，也取决于所使用的真空泵的流体的返流成份。

这种返流在大多数情况下产生更有害的影响—如影响制品的质量和数量、安全、维护成本等。于是泵内的流体又产生了不可忽视的副作用。

克服这种副作用，最好就是在泵内没有液体，作成干式泵。约在十多年到二十多年前，生产了低温泵，溅射离子泵，吸附泵等，在抽气气路中泵内无液体的蒸汽返流，成为干式真空泵。以下简要介绍了干式真空泵的必要性。

对普通的无油真空抽气来说，虽然也可用油旋转真空泵加上冷凝阱或吸附阱之类附件来防止返油，但不能彻底解决问题，而且显得累赞，并且还要定期换油，甚至在未加改造的油旋转泵中每三天要换一次油。

增加了操作，增加了使用成本，增加了停机时间，而且还要在抽大气时（大容积系统刚开始抽气时往往是这样），因要防止喷油而有意限制进气压强，故而不能充分发挥泵的抽气效率。

有的泵是使用氟聚醚来代替油，虽然不要或少要附件，但也存在返流（不过返流的不是碳氢化合物），也要更换和补充氟聚醚，况且氟聚醚很贵，高达每一公斤作价贰百美元，很不划算。

有些工艺过程中所抽除的气体是有毒的，或其反应生成物是有毒的，混在工作液里，在更换工作液时，很不安全。

有的工艺过程中所抽气体或其反应物是腐蚀性的，腐蚀物溶于工作液中，无法排除，影响抽气系统性能及泵的寿命。

还有一些是使用在有放射性物质的场合，使用有工作液的泵很不安全（指更换工作液和对所排除气体处理的方便程度而言）。

此外，在某些工艺过程中，会产生微粒，这些微粒混在工作液中无法排除，同样影响泵的性能及寿命。

也还有些工艺，在过程中会产生冷凝，成为粘附状态物质，使泵卡住，不能运转而失效。

以上种种场合，急需干式机械真空泵，在很大程度上，干式真空泵可在以上某一方面或几方面得到较满意的解决。

本文作者：荣道发（执笔）

本文部分摘自《干式机械真空泵综述》

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