半导体晶圆清洗，用臭氧水效果怎样？

大家好，我是消达人董工，专注于臭氧，帮您解决臭氧消毒、氧化问题。

今天分享的话题是用臭氧水清洗半导体晶圆或者芯片，效果怎样？

我们一个做芯片的外资客户，用超纯水清洗半导体晶圆，

经过EDI,反渗透工艺的超纯水，到纯水箱是没有细菌，

尽管客户清洗半导体晶圆用水，充了氮气保护，

但水箱后的管道，一段时间会滋生细菌；

这个时候要用臭氧水消毒，分解的是氧气，无残留物。

水量比较大，型号建议XDR-50Y，或者Y系列氧气型臭氧发生器。

接通臭氧后，经测试，半导体晶圆清洗臭氧水出口＞2mg/l, 管道里面的臭氧水浓度，1.0~2.0，

反复清洗了一天，超纯水管道达到了17兆欧。

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