XPS小知识2.0

Q1：XPS元素扫描的结合能范围比较大，出现其他峰，导致半定量的结果含量偏高，是什么原因呢?

A：转数据时默认是对整个范围积分，如果整个范围存在其他峰，这种情况要注意把该元素峰的起始、终止结合能值手动改一下；

例如：下列数据的C峰扫描结果有如下两个区域，1和2；首先可根据其他元素，如O峰的标准位置确定哪一区域为C峰，然后再以C1s284.6进行校正，将校正后的数据开始与结束峰位改一下，只对C峰区域积分即可。

Q2：XRD测试结果显示有某种物相存在，但是XPS分峰不存在该化学态的元素，是什么原因？

A：XRD测试区域大小、深度都远远大于XPS，XPS仅表面几纳米的深度，XRD是微米级，这种情况很正常。

Q3：XPS测试，元素含量低的话，多扫几次高分辨谱，会改善峰的强度和峰型吗？

A：理论上是可以改善的，但是跟元素的具体含量还有关系，若含量极低的元素，比如0.5%以下的，实际都可以认定为几乎没有此元素，即使再扫几十次，效果也很一般。

Q4：XPS最大刻蚀深度是多少？

A：最大刻蚀深度500nm，继续更大深度的刻蚀意义不大，因为刻蚀过程有副效应，再往深刻蚀会因为弧坑效应、荷电左右等原因，刻蚀不动了。

总结

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