特迪亚亨特利传感器120-30T
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云母片的相对介电常数是空气的7倍, 其击穿电压不小于1000 kV/mm, 而空气的仅为3kV/mm. 因此有了云母片, 极板间起始距离可大大减小.同时, 式(5-5)中的(dg/ε0εg)项是恒定值, 它能使传感器的输出特性的线性度得到改善.
一般变极板间距离电容式传感器的起始电容在 20~100pF之间, 极板间距离在25~200μm的范围内, 最大位移应小于间距的1/10, 故在微位移测量中应用最广.