氦质谱检漏仪产生测量误差有哪些方面？-深圳华尔升

首先，当氦质谱泄漏检测器校正灵敏度时，标准泄漏的位置与检验泄漏的位置不同，即标准泄漏与检验泄漏检测器之间的距离过大，途中泄漏氦的损失不同，导致进入检验泄漏检测器的氦量对比差。

二是进入被测漏孔和标准漏孔的氦气压力或分压比不相等，或氦气压力和分压比不能准确给出，导致无法转换，也会导致漏率测量误差。

第三，标准漏孔的标称漏率有偏差。

第四，氦质谱检漏仪导出指示与泄漏率线性相关。

第五，在校正灵敏度或用比较法确定漏孔漏率时，标准漏孔的气流特性与被测漏孔不同。

第六，检漏仪性能不稳定。

第七，氦气纯度不稳定或有偏差。

第八，其次是泄漏检测操作人员的因素，包括质量、责任感、技术实力和工作经验。氦光谱泄漏检测仪是一种专门用于泄漏检测的氦仪器，具有质量稳定、灵敏度高的特点。是真空泄漏检测技术中灵敏度高、常用的泄漏检测仪器。

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