透射电子显微镜结构

        上一篇文章中，我们了解了TEM的原理，想要了解更多，我们就得知道透射电子显微镜是怎么通过原理来对试样进行测试的，下面就跟着铄思百小编来一起了解一下透射电子显微镜的结构组成吧

        TEM由电子光学系统、真空系统、循环冷却系统、供电控制系统。电子光学系统是主要部分。电子光学系统→电子照明系统、试样室、成像放大系统、观察与记录系统。

电子照明系统→电子枪、会聚镜系统（为成像提供亮度高、相干性好的照明光源）

电子枪：由阴极、栅极、阳极组成，阴极发射电子形成高速电子流。有的六硼化镧LaB6、场发射电子枪，其各种性能优于钨丝三级电子枪。

聚光镜：会聚电子束、控制照明孔径角、电流密度、光斑尺寸。高性能电镜采用双聚光镜，第一聚光镜为短焦距强激磁透镜，使照明束直径降为0.2~0.75μm；第二聚光镜为长焦距磁透镜，放大倍数一般是2倍，所以照在式样上的束径增为0.4~1.5μm左右。第二次透镜下的聚光镜光阑用来限制和改变照明孔径角。

样品室→样品杆、样品杯、样品台。

样品放在直径3mm、厚50~100μm的载网上，再放入样品杯中，最后放在样品台上。

样品台的作用为承载样品、使样品能在物镜极靴口内平移、倾斜、旋转以选择感兴趣的样品区域进行观察。样品台有顶插式和侧插式，顶入式不能倾斜、平衡性好；侧入式可倾斜、平衡性差。

成像放大系统→物镜、中间镜、投影镜。

物镜：物镜的分辨本领决定了TEM的分辨本领，所以物镜采用强激磁、短焦距透镜减少像差、借助孔径不同的物镜光阑和消像散器和冷阱降低球差，改变衬度消除像散，防止污染以获得最佳分辨本领。一般放大倍数为100~300倍，高质量分辨率可达0.1nm。物镜后的选区光阑作用为减小物镜的球差、像散、色差，提高图像衬度。

中间镜：操作过程中主要利用中间镜的可变倍率调节TEM放大倍数。不会影响清晰度。中间镜是弱激磁长焦距变倍透镜，可在0~20倍范围内调节。

        以上就是铄思百小编整理的有关透射电子显微镜的结构组成的知识，如果有其他疑问或者测试需求，可以网络咨询铄思百检测实验室技术工程师。

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