PECVD硅烷尾气处理

硅烷尾气处理介绍：

尾气处理方法：

PECVD硅烷尾气的处理方法主要有两种，即催化燃烧法和吸附法。

（1）催化燃烧法（CatalyticCombustion）在催化剂的作用下使废气中的碳氢化合物和氧进行化学反应生成CO2和H2。反应式如下所示：C+O2=点燃=CO2+H2O2=催化剂→O3

（2）吸附法（SilicaAdsorption）

活性炭对有机废气有良好的吸附能力。其原理是：在高温高压的条件下将气体分子吸入活性炭孔中，使其被吸附而净化。该方法适用于含低浓度烃类、卤代烃、硫醇类等有毒有害气体的治理。

其反应式为：

H2S+CH4→CCl3+3HClSO2、NOX等污染物经活性炭处理后可转化为无害物质或变成水蒸汽挥发掉；对于苯系物可将其氧化成苯胺盐，然后回收利用；同时也可用于脱除重金属离子如汞、镉、铅等以及硫化氢等恶臭成分；此外还可用于去除挥发性有机物如VOCs等的回收再利用。

该方法的优点是投资少，操作简便且运行费用较低；缺点是设备庞大且占地面积多，需配备专门的烟道系统及相应的除尘设备。