概述：在流体力学及空气动力研究中，我们经常需要测量瞬态变化的压力，诸如航发控制、风洞试验、飞行风阻、机载液压系统；船舶水动力、爆炸冲击波等。下面就国内自主研发的MEMS压阻式高频压力传感器作以介绍。

一、

压力传感器特点

01

微型薄型探头尺寸足够小

微型用于干燥气体测试的传感器最小为2.1mm直径探针或M3.5x0.6；薄型用于干燥气体测量的传感器最薄为1.2mm厚度；

微型用于液体测试的传感器最小为5mm直径探针或M5x0.8螺纹；薄型用于液体测量的传感器最薄为3.2mm.

02

频响足够高

CYG400和CYG500全系列传感器压力敏感元件（芯片）采用最先进的MEMS技术设计制造，硅硅直接键合，齐平或准齐平封装，配套高带宽放大电路，固有频率在100kHz～1MHz之间，有效频率约为固有频率的1/3.

03

动态压力和稳态压力均可测量

压阻效应原理，稳态工况时测量静态压力；瞬态工况下可测快速变化的动态压力。

04

适用场景

发动机进气道压力突变、喘振，叶轮机械内流，风洞试验；水泵压力脉动、船舶水动力、水下航行体空泡压力；气体燃爆、爆震推进、爆炸冲击波等测试。

二、生产厂家介绍

01昆山双桥传感器测控技术有限公司

昆山双桥传感器是国内最早开发MEMS技术压力传感器研究的单位之一，是国内极少几个坚持从MEMS力敏芯片的设计做起的传感器企业，成立之初便确立以高、特、难、新MEMS压力传感器作为企业主发展方向。现有授权发明专利28项，国际发明专利1项；牵头、参与制定传感器相关国家及行业标准20余项。公司产品现已在登月工程、航天航空领域（发动机测量、各种飞行器、导弹）、核安全监测、水下兵器、水面舰船、特种机器人、燃爆冲击测量、高铁测量、特种车辆测量、微创医学、流体力学测量、空气动力学测量、安防等国家重大军工、重点工程以及民用项目中广泛应用，其中部分产品填补了国内及国际空白，为型号研制及国产化做出了突出贡献。企业成立20余年。

02创始人介绍

董事长王文襄是我国传感器界著名专家，我国第一个压阻式压力传感器三主要研制人之一（1972年），是我国国内派最早开展MEMS微机械加工技术的高级科研人员之一（1981年），是我国“八五”传感器产业发展规划参与编制人之一，力敏传感器分规划论证和编写主持人，参与国家“八五”、“九五”、“十五”传感器技术攻关论证工作，是八五”、“九五”攻关专家组成员。曾经获得过国家技术发明二等奖、国家专利优秀奖、军队科技进步二等奖、部科技术进步一等奖、省科技进步三等奖等数十项各类荣誉。国家科学技术奖评审专家；国家重大国际科技合作项目评审专家；国家科技支撑项目评审专家；西安交通大学兼职博士生导师。第一个国家级传感器专业科研院所-宝鸡传感器研究所所长，国企改制后于1999年到昆山创业，企业至今为止已有50余年专业技术传承。

03优势产品

公司的高频动态压力传感器（CYG400系列）和微型动态压力传感器（CYG500系列）两类产品国内技术领先，总体上已达到国外同类产品先进水平，部分关键技术指标已达到国际领先水平。

三、部分用户举例

中国航天空气动力技术研究院

中国运载火箭技术研究院

中国工程物理研究院

中航工业空气动力研究院

中国飞行试验研究院

中国铁道科学研究院

中国科学院***所

中国航发***所

中国船舶科学研究中心

中国兵器工业集团

清华大学

北京航空航天大学

哈尔滨工业大学

北京大学

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