广东省21个地级市设立的过程如下

1983年，撤销佛山地区，斗门县划归珠海市，中山、顺德、高明、南海、三水五地划归佛山市，鹤山、新会、台山、开平、恩平五地划归江门市

撤销汕头地区，海丰、陆丰两地划归惠阳地区，其它部分并入汕头市

撤销韶关地区，清远、佛冈两地划归广州市，其它部分并入韶关市

撤销湛江地区，阳江、阳春两地划归江门市，电白、化州、高州、信宜四地划归茂名市，吴川、廉江、遂溪、海康、徐闻五地划归湛江市

1988年，广州市的新丰县划归韶关市

惠阳地区分裂成河源市、汕尾市、东莞市和惠州市

广州市的龙门县划归惠州市

佛山市分裂成新的佛山市和中山市

江门市分裂成新的江门市和阳江市

撤销梅县地区，设立新的梅州市

撤销肇庆地区，设立肇庆市

清远县升格为地级市，同时广州市的佛冈县和韶关市的英德、阳山、连县、连南、连山五地划归新成立的清远市

1991年，汕头市分裂成新的汕头市、潮州市和揭阳市

1994年，肇庆市分裂成新的肇庆市和云浮市