真空泵根据其工作原理和结构特点分为几种

1.机械泵（又称磁悬浮泵）：利用叶轮与泵体内壁之间的间隙，形成一个紧密的封闭空间，在空间中形成局部真空。

2.转子泵：利用转子与泵体壁之间的清隙产生局部真空，将气体抽出。

3.扩散泵：将气体分子加速到高速，在冷凝板上冷凝成固体，达到真空的效果。