氦质谱检漏仪的基本结构概述-华尔升

氦质谱检漏仪是一种采用氦离子检测技术的真空漏洞检测仪器，它可以测量漏洞尺寸，检测漏洞的位置，检测漏洞的形状，检测漏洞的数量，检测漏洞的类型，以及检测漏洞的深度。氦质谱检漏仪可以迅速、准确地检测各种真空设备中的漏洞，并可以检测出漏洞的位置、尺寸和数量。

氦质谱检漏仪由氦源设备、氦离子检测系统、漏洞检测系统和控制系统组成。

1.氦源设备：氦源设备是氦质谱检漏仪的关键部件，负责将氦转化为氦离子，并将氦离子发送到真空环境中。

2.氦离子检测系统：氦离子检测系统负责检测氦离子的流量和真空环境中氦离子的传播情况。

3.漏洞检测系统：漏洞检测系统承担检测漏洞的位置、尺寸和数量。

4.控制系统：控制系统负责控制氦源设备、氦离子检测系统和漏洞检测系统，并对检测结果进行收集、处理和显示。

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