半导体厂务常用名词缩写整理

水处理类

1. UPW _超纯水

2. RO _ 反渗透膜

3. DI _去离子水

4. TOC_总有机碳

5. PCW_制程冷却水

6. DIWS_去离子水供应端

7. DIWR_去离子水回水端

8. CW_自来水

9. FWW_低浓度氢氟酸废水

10. IWW_工业废水

11. OWW_有机溶剂废水

12. DAHW_含氨废水

13. RCL_制程回收循环水

14. RCM_制程回收再利用水

15. HFW_高浓度氢氟酸废水

16. BGW_晶背研磨废水

17. SAW_硫酸废液

18. PAW_磷酸废液

19. SW_剥离液废液

20. TW_清洗废液

21. PIX_废液

气体/化学类

1. VMB_阀箱

2. VMP_阀盘

3. GMS_气体监测系统

4. CDS_化学系统

5. PN2_高纯氮气

6. GN2_普通氮气

7. DA_压缩空气
   

8. CDA_洁净压缩空气

9. N2_氮气

10. O2_氧气

11. H2_氢气

12. NH3_氨气

13. Ar_氩气

14. He_氦气

管道缩写

1. SS_不锈钢

2. 316_管道材质

3. 304_管道材质

4. EP_电解抛光

5. BA_光亮退火

6. MP_机械抛光

7. AP_酸洗钝化

8. Vent_排放

9. Pigtail_猪尾巴

先分享这些吧，要开始上班了，下次分享空调哒！