石英玻璃精密加工

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对高精度光学零件的加工方法主要有沥青环抛法、双面抛光法、离子束修形以及磁流变抛光等抛光工艺。

超薄光学零件在加工中的主要难题在于各种变形，包括胶结变形、热变形、应力变形等。采用沥青环抛法一般配合“增厚”、“光胶”等手段加工超薄零件，

可以有效地减小胶结变形和热变形的影响，但是没有解决应力变形的问题；双面抛光法需要使用保持架带动零件与研磨盘进行相对运动，保持架厚度必须小于零件厚度，当厚度小于一定程度时，

一方面保持架会因强度不足被撕裂，另一方面零件极易窜出保持架导致挤碎；离子束修形是目前精度最高的加工方法，可以实现原子级表面材料去除，但是存在加工效率低，加工成本昂贵等缺点，不适用批量化生产。