QFL系列三轴高精度直线台

QFL系列三轴高精度直线台

产品特点

<< 直驱式结构

<< 结构紧凑、精度高

<< Z轴大行程平升结构

<< 光栅尺闭环反馈

<< 优化后的线缆管理系统

<< 根据需求可定制

背景介绍

        XY轴为气浮直驱直线台，Z轴为精密直线线轨平升台，紧凑的三轴结构，广泛应用于精密加工，测试测量及半导体行业。由于非接触式移动，精度高和结构紧凑是行业内的理想选择。

结构优势

       XY轴采用非接触式气浮导轨、直线电机驱动和光栅尺反馈装置组成整个系统，确保免维护运行。因为运动元件间没有机械接触，随着时间的推移，不会出现磨损或性能下降，使用寿命几乎是无限的，气浮导轨不需要润滑，只需要清洁及干燥的气体，是用户应用的理想选择。

       RBSV系列直驱结构，直接移动负载，不是蜗轮蜗杆结构传动，在一个长行程的移动范围，保持尽可能短的高度，优化了Abbe误差，有助于提高整体精度性能。

       采用用抗蠕变交叉滚柱导轨垂直导向，为提升直线度、Pitch/Roll/Yaw指标提出了创新解决方案

线缆管理

       精心优化管线弯曲半径，防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮台的性能，使用高质量的电缆，以确保无故障操作。

定制化

       XY轴可定制大理石或碳化硅材质的气浮导轨，提升精度性能。行程可接受定制。

规格指标

外形尺寸