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突破EUV光刻机?中国建光刻机工厂,全网沸腾?官方揭开真相……

2023-09-20 17:13 作者:互联网的一些事  | 我要投稿

近日有消息称,清华大学EUV项目把ASML的光刻机巨大化,实现了光刻机国产化,并配图称该项目已在雄安新区落地。



对于相关消息,中国电子工程设计院有限公司(以下简称“中国电子院”)官方日前发布微信公众文章予以辟谣。


这个巨型建筑其实是北京高能同步辐射光源(HEPS),是国家“十三五”重大科技基础设施,由中科院高能所承担建设。它不是光刻机工厂,而是一个超精密、超高速、具有强大穿透力的巨型X光机。



它可以产生高能量、高亮度的同步辐射光,穿透物质、深入内部进行立体扫描,从分子、原子的尺度多维度地观察微观世界。


它是进行科学实验的大科学装置,为基础科学和工程科学等领域原创性、突破性创新研究提供重要支撑。该项目由全国勘察设计大师、国投集团首席科学家娄宇带队,中国电子院多个技术科研和设计团队协同合作。



从项目可研立项到项目落地,中国电子院攻克了多项技术和工艺难关,实现了重大技术突破,指标控制达到了国际先进水平。HEPS坐落于北京怀柔雁栖湖畔,早在2019年就开始建设,将于2025年底投入使用。


届时,它将成为世界最先进的X射线光子科学研究平台之一,为探索物质内部结构与变化过程的强有力的科学工具。


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