佰维存储反馈,用臭氧水,确实解决半导体清洗消毒;
(消达人董工@臭氧发生器大讲堂第141讲)
客户佰维存储,做半导体的,超纯水电导率上不去?
首先,我们搞清楚的事实就是,
纯水、超纯水、都是需要消毒的!
为什么呢?
原因就是水路管道有细菌滋生污染;
分享下是怎么解决的!
客户是用超纯水清洗半导体晶圆,
对水质消毒要求非常高!
电导率必须达到17兆欧;
我们用高浓度臭氧水接入管道,
保持臭氧水出口浓度>2mg/l;
对整个管道循环,
反复充臭氧水消毒,
最终达到了17兆欧。
#臭氧水消毒#管道消毒#消达人臭氧发生器
