真空系统中被抽的危险气体种类一览

目前在很多工业应用领域，采用油封式机械泵（旋片泵和滑阀泵）真空系统抽除大量的含有化学活性、腐蚀性及磨蚀性的气体，其中以微电子及半导体工业较多。

在半导体晶片加工工艺中需要抽除的气体可能是腐蚀性的、易燃的、磨蚀性的、有毒的、或与普通真空泵油不相容的，要求真空泵在运转中振动噪音小并具有高度的可靠性。

表1中所列为一些典型的被抽除的危险气体，腐蚀性气体和反应生成物，当它们达到一定浓度时是危险的，在处理和抽除时必须特别小心。

本文声明 |内容来源于《真空系统的操作与维护第四讲》，作者：张以忱。【本平台摘录或转载于第三方的信息（包括文章、图片等）会标明作品来源和作者，无法查明作者的，将标明获取途径，如权利人认为内容侵犯其著作权，请书面告知，本平台将及时审查并删除被侵权的内容。其他任何媒体、网站或个人如需转载本平台内容，请注明信息来源。】