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【恒辉净化】无尘室检测验收的方法

2023-02-18 17:08 作者:恒辉净化  | 我要投稿


洁净室风量测量:对于单向流动洁净室,送风量由平均风速与房间截面面积的乘积决定。采样测试段取距离高效过滤器0.3m且垂直于气流的段。截面上测点之间的距离不得超过0.6m,测点数量不得少于5个。所有测量点的风速读数的算术平均值为平均风速。对于非单向流洁净室,送风量应采用通风口法或风道法确定。排气方法根据排气口形状,在安装高效过滤器的排气口上连接辅助排气口进行试验,即使用镀锌钢板或不产生其他粉尘的材料制作排气口形状和内截面相同、长度等于排气口侧长度的2倍的直管段然后将其连接到风口外部,在辅助风管出口平面上,测点最小数不得少于6个,风口迎风侧有较长的直管段,可钻取或钻取风量时

,可使用风道法确定风量。测量段必须位于局部电阻成分之前的3倍管径或长边长度以上的位置,以及局部电阻成分之后的5倍管径或长度以上的位置。对于圆形管道,截面应根据管径划分为多个面积相同的同心环,环的数量应根据管径确定,对于矩形管道,测量段应划分为几个相等的段,而不是小于三个。各小断面应尽量靠近正方形,边长不得超过200mm。测量点必须位于小截面的中心,但整个截面的测量点数量不能少于三个。

洁净室温度下湿度测量:应根据温度和相对湿度的变化范围,选择具有足够精度的相应仪器进行测量,每次测量间隔不得超过30min。室内测点布置:通风口、洁净室中心无恒温要求,是恒温工作区的代表性表面,一般测点应布置在距外墙表面0.5米以上、距地面0.8米的相同高度,或根据恒温区大小布置在距地面不同高度的多个平面上。在要求一定温度和湿度的无尘室中,根据测量点在各温度下的偏差控制点温度的最大值,将室温变动范围分类为累积统计曲线,占测量点总数的百分比。如果测定点偏差值的90%以上在室温变动范围内,则认为符合设计要求,反之则认为不合格,区域温度基于各测定点的最低试验温度。超过各测量点的平均温度和偏差值的点的数量作为测量点总数的百分比被分类为累计统计曲线。90%以上的测量点所达到的偏差值,区域温差应符合设计要求。相对温度变化范围可以根据室温变化范围的规定来实施。

应在所有门关闭状态下测量高压至低压的静压差,从平面布置图上最远离外部的内部房间开始,依次走向外部。所用差压计的灵敏度不应小于2pa,不同等级、不同孔的洁净室开口需要合理的气流方向。检漏:高效过滤器的检漏采用采样速度大于1L/min的光学粒子计数器,检漏采用带粒子计数器的高效过滤器,在其迎风侧引入含有均匀浓度的大气粉尘或其它气溶胶粉尘的空气,高效过滤器的检测采用扫描法。粒子计数器的等速采样头用于过滤器的下风侧。在清洁设计风速的条件下检测泄漏率,该泄漏率应在距离被检体表面20-30mm、5-20mm/s的速度下对过滤器的表面、框架和头部橡胶进行移动扫描检查。必须将在测试HEPA滤波器的顺风侧测量的泄漏浓度转换为传输速率。HEPA滤波器不得超过工厂合格传输率的2倍。


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