1、真空泵分为机械真空泵:旋片泵、往复泵、滑阀泵、罗茨泵、分子泵和液环泵等。
2、真空泵分为蒸汽流真空泵:水蒸汽喷射泵、油增压泵和油扩散泵等。
3、真空泵分为气体捕集真空泵:钛溅射离子泵、低温泵、分子筛吸附泵和锆铝吸气泵等。
4、真空泵分为真空机组:即由产生真空、测量真空和控制真空等组件组成的各类机组。