XR-1541电子束光刻胶 负性光刻胶/KMPR 1000系列 负性光刻胶

叠氮有机化合物、偶氮盐和偶氮有机化合物都可用作交联剂，它们不仅能够和聚烃类树脂相配合组成负性光刻胶，而且还能和一些线型聚合物，如聚酰胺、聚丙烯酰胺等相配合制成负性光刻胶。

在聚烃类光刻胶里添加的交联剂以双叠氮有机化合物较为重要；在和环化橡胶配合使用时，双叠氮型交联剂不带极性基团，并且能够溶解于非极性溶剂，如三氯乙烯和芳香烃等类型的芳香族双叠氮化合物。这种交联剂包括4,4'-双叠氮二苯基乙烯（A）、4,4'-二叠氮二苯甲酮（B）、2,6-双-(4'-叠氮苄叉)-环己酮（C）、2,6-双-(4'-叠氮苄叉)-4-甲基环己酮（D）等，其结构如图所示。其中D的效果最为突出。感光时在交联剂双叠氮化合物作用下发生交联成为不溶性高聚物。

光刻胶AR-N 4340

光刻胶AR-N 4400

AR-P617 电子束光刻胶

电子束及深紫外光刻胶ma-N 2400系列

电子束光刻胶 CABL-9000C 

光刻胶SPR955系列 正性

电子束光刻胶 ma-N 2400 MR-EBL 6000系列

光刻胶 SPR 955

mr-EBL 6000系列 负性光刻胶

高聚物SU-8光刻胶

瑞禧WFF.2022.6