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哈工大再次立功，光刻机核心部件取得重大突破，已用于DUV光刻机

2023-03-01 13:56 作者:bili_77558176685 0人读过 | 我要投稿

哈工大在光刻机核心部件取得重大突破，已经可用于DUV光刻机

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哈尔滨工业大学胡鹏程教授团队研制的高速超精密激光干涉仪
荣获首届“金奖”中国光电仪器品牌榜金奖
几何量精密测量最高水准的典型代表

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