电子芯片、集成电路生产用高纯水制取设备 超纯水制备生产装置

在电子芯片生产中，随着集成电路的特征尺寸不断缩小，这就要求生产过程中所使用的超纯水质量必须达到越来越高的标准。因此，电子工厂洁净厂房设计中的纯水供应成为了一个非常重要的内容。在各种电子产品的生产工艺中，对于纯水的水质和水量都有着严格的要求，这些要求也因产品类型而异。

为了满足这些要求，电子工厂需要配备先进的纯水处理设备，例如反渗透装置、电渗析器、离子交换器等。同时，在纯水处理过程中，还需要注意控制水质的指标，包括溶解氧、总有机碳、电导率等。除了处理设备和控制指标外，纯水供应还需要考虑到供水管道的材料选择、环保要求、维护管理等因素。

电子芯片洁净厂房的纯水系统的选择应根据原水水质和电子产品生产工艺对水质的要求，结合纯水系统的产水量以及当时、当地的纯水设备、材料供应等情况，综合进行技术经济比较确定。 纯水的输送干管应敷设在技术夹层或技术夹道内，洁净室内的纯水支管宜暗装。 穿越洁净室墙壁、楼板、顶棚的纯水管道应设套管，套管与管道之间应采取密封措施。

电子芯片洁净厂房的洁净室(区)内，一般不可避免地将会布置有纯水支管或接至产品生产设备的纯水管道，为了减少污染物的扩散、发生、积聚和易于清洁，纯水管道的保温材料选择时，应选用不产生污染物的材料，如橡塑保温材料等，其外表面应平整、光滑，宜外包保护层。