美国Vishay STS传感器60001A10K-1177
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CLB-100klb称重传感器
到了 2022 年 3 月，唐传祥教授和邓秀杰博士又在我国的《物理学报》上发表了同名论文[2]，可能他们自己也没想到，一年多后，不知道什么原因，大概是在 2023 年的 9 月 13 日，不知道是哪个自媒体发了个视频，标题很那个啥，叫《逆天了！清华大学SSMB-EUV光源横空出世，功率达到EUV光刻机40倍》，然后，仿佛一把火，各个自媒体平台都开始以各种“逆天了”三个字开头为题，来热炒清华大学的这个 SSMB 方案，看得我都傻了。
我希望大家冷静的是，我们现在离实现生产极深紫外光刻机还有十万八千里，千万别上头。首先，清华的官网上说，2021 年，唐传祥教授就已经向国家发改委申报把 SSMB 实验装置列为十四五国家重大科技基础设施。但是，我没有查到任何立项的新闻。注意，这种民用科研项目不是军事项目，不需要保密，立项都是需要公示的。也就是说，至少到目前为止，这个项目连立项都没有立项。
