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Slivaco TCAD 小白系列- 5. ATLAS使用手冊簡論

2023-06-09 16:49 作者:DanielH丹丹  | 我要投稿

嗨大家好我是丹丹,撇開年份不看,距離上次更新也才兩個禮拜多呀是吧哈哈(心虛)

總之這一年多經歷了很多、很忙,例如從Slivaco跳槽到使用Sentaurus,最後直接跳到IC設計,真的是一日三秋。好了廢話不多說,今天的主題是ATLAS使用手冊簡論。

對於許多軟件來說,用戶手冊(user manuel)都是最佳的學習資源或是參考資料。有的好的手冊可以當教科書使用、差一點的能夠提供滿好的指引、當成字典使用,所以請大家如果要鑽研一款軟件,記得去翻翻手冊。雖然大概率看不懂,但至少會有不少概念!


無論從網路上或是TCAD的安裝目錄中,或許都能找到ATLAS的使用手冊(搜尋:"ATLAS User's Manual")。
打開之後往下滑到目錄:

ATLAS手冊不太剛好地,比較像是字典。邏輯上直接用字典學習好像也不是壞事,但就生硬難懂點,建議的使用方法為,多去看看半導體物理的書然後再來「使用」,當然也可以從這份手冊上的各種模型進行延伸學習、了解更多啦,都不排斥。
之於我,主要使用方法為,當我看到一個新的參數或statement時,會Ctrl+F搜尋,舉例來說:我搜尋"conmob",當然,越常見的詞彙、條目會越多。找找看總會有個看起來要說明的段落、文章所在:

例如從上述表格我們就知道"conmob"代表「遷移率是受摻雜濃度控制的」,其實就是著名的圖表(取自施敏的半導體元件物理學):

接著,在文件的中後半,往往可以找到類似這種表格:

便知道這個參數預設值是多少。接著往上滑,就可以知道conmob這個參數是隸屬於哪個statement下:


再舉個例子,舉例來說我想找"a.btbt":

這參數名字夠奇怪,所以只有兩筆結果。從表格很明顯可以看出他隸屬於MODELS statement下,我們往上滑便可以看到:

原來他Kane Band-To-Band穿隧模型的公式參數。有時在文檔中也會說明甚麼縮寫是甚麼意思,有時會冷處理,有時會寫他就只是個參數而已。


如果我遇到名字很常見的那種參數就只能從幾百筆資料中慢慢看嗎?也未必,如果知道這個參數隸屬於哪個statement的話,可以回到目錄的Statement一章中直接點選該statement。例如我想知道Contact:

然後從Parameters一欄下去找:

該表格到底後會說明每個簡稱它的物理意義為何:

學好如何使用手冊就像學好如何使用釣竿,之後的路走起來會更順利的!

本回就先到這裡,下次我們就來看看如何分析與模擬SOI吧!

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